服务热线
实验室用的CVD（化学气相沉积）镀膜电炉在使用时，需要注意以下事项以确保设备的安全运行和镀膜质量：
一、设备安装与准备
遵循设备操作手册：按照正确顺序进行设备安装，确保所有部件连接紧密，如电极连接、石英管接头组装、真空泵连接等。特别注意橡胶环等密封件的位置，避免在拧紧过程中损坏。
清洁反应室：在使用前，彻底清洁反应室、管道、阀门等部件，确保无杂质。使用一次性乳胶指套等工具，避免空手直接接触密封片或其他敏感部件。
检查气体供应：确保镀膜所需气体的供应情况，如SiH₄、NH₃等。检查气体管路连接是否正确、牢固，气体压力是否符合要求，气体纯度达到设备规定的标准。
二、设备启动与参数设置
启动设备：遵循设备操作手册，按照正确顺序启动设备。启动后，通过触控面板检查并设置各项参数，如气体流量、管式炉温度曲线、真空泵等。
设置参数：根据镀膜工艺要求，准确设置气体流量。设置管式炉的升温程序，确保温度曲线符合要求。热处理前调节好管内的真空度，真空度要到达使用要求，避免过高或过低。
三、镀膜过程监控
密切关注参数变化：在镀膜过程中，密切关注真空度、气体流量、温度等参数的变化。如有异常，应立即停止镀膜操作，查找原因并进行处理。
定期检查镀膜效果：如膜厚、均匀性、附着性等。如发现镀膜异常，及时调整工艺参数或停止镀膜。
四、设备关闭与清理
关闭设备：镀膜完成后，按照设备操作手册规定的顺序关闭设备。管式炉热处理，真空泵，最后关闭无关气体。
清理设备：关闭设备后，等待设备冷却到安全温度后，清理设备内部残留的镀膜材料、灰尘等杂质。使用专门的清洁工具和清洁剂进行清洁，但要注意避免清洁剂对设备部件造成腐蚀。
五、安全操作与维护
遵守操作规程：在操作过程中，严格遵守操作规程和安全规则。配备单独的稳压电源和接地系统，确保电力供应稳定。
定期检查设备：定期检查设备的安全性能，如电缆接触是否良好、真空泵是否正常等。
定期维护：定期对设备进行维护和保养，包括更换真空泵油、检查密封件、清洁靶材、校准仪器等。维护周期根据设备的使用频率和工作环境而定，一般建议每使用一定时间（如1~3个月）或完成一定的镀膜任务后进行一次整体的维护。
建立维护档案：建立设备维护档案，记录设备的运行情况、维护时间和内容等信息，以便及时发现设备的潜在问题。
六、其他注意事项
冷炉使用：冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大。设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。
炉膛温度限制：炉膛的温度大于等于200摄氏度时，禁止打开炉膛，避免受到伤害。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉体。
压力控制：设备使用时，炉管内的压力不得超过0.02MPa，以防止压力过大造成设备损坏。当炉体的温度高于1000摄氏度时，炉管内不可处于真空状态，炉管内需是常压状态，与大气压基本保持一致。
气体操作：对于有毒气体或易燃气体的操作，必须采取额外的安全措施，如通风设备、防爆装置等。在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀、进气阀。若要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的显示值，当绝对压力表读数大于0.02MPa时，必须立刻打开排气阀门，以防发生意外。
总的来说，在操作实验用的CVD时，要时刻观察镀膜过程，如出现无法解决的问题时，可以查看设备背后的铭牌，咨询原厂家的技术人员解决问题，切莫强行测试，防止出现意外故障！点击了解更多CVD电炉！或者点击咨询在线客服定制各种不同型号电炉！
获取报价
即刻留言 
添加微信咨询报价