1200℃两温区滑道CVD管式炉-分子泵高真空-两温区带滑道可快速升降温-温区可独立控制温场更均匀-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：

KJ-TCVD1100-S60CK2CVD系统主要由：1200度双温区滑道管式炉、高真空分子泵真空系统、6路质量流量计供气系统及其它连接件等组成；可同时连接6种气源，气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制。可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热；主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。点击查看更多CVD电炉！

1200℃双温区滑道CVD管式炉实拍图

产品特点：

1.该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管；
2.炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1000℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和。
5.气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制。
6.高真空分子泵机组可对炉管进行快速置换气体、实现管内高真空。

产品参数：

产品名称	CVD系统
型号	KJ-TCVD1200-S60CK2
双温区滑道管式炉部分
炉膛模式	开启式
炉体滑动	可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	含钼加热丝
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	建议:≤10℃min
加热温区	双温区
温区总长度	200+200mm（其他尺寸可按客户需求定制）
炉管材质	高纯石英
炉管直径	60mm（其他尺寸可按客户需求定制）
密封方式	不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 其中一端用方便进出物料的快接法兰，预留进气品和出气口
控制模式	多段智能PID程序控温
测温元件	N型热电偶
报警	有超温和断偶报警
供气系统 KJ-6Z
最大气压	3*10-3Pa
气体通道	可同时连接6种气源质量流量计和混气罐都安装在移动箱体内
流量计	质量流量计(可选其他量程不影响价格)
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	不锈钢管
真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)
真空泵+数显真空计	分子泵机组及相应连接管件底部安滑轮方便移动，上方可放置高温炉极限真空度可实现6.67*10^-3pa

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

免责声明：本站产品的介绍内容（包括产品图片、产品介绍、技术参数等）主要用于产品宣传，仅供参考。由于产品更新速度快，部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，我们公司会不定期完善和更新网站信息，恕不另行通知，请您谅解。

上一篇:1100℃管式真空CVD电炉下一篇:立式双温区CVD镀膜管式炉